第249章  生产线闭环，载入史册的奇迹

    身为国内化学权威专家，周启深无比清楚，想达到徐铭这种水平，除长年累月的知识累积和实验经验外，还需具备超强思维和天赋。

    特别是在光刻胶这种核心项目上，凭借自身实力做出重大贡献。

    哪怕被誉为化学天才的年轻教授都很难实现。

    最关键的一点，徐铭并非化学专业，而是才刚深入研究不久。

    如果他了解的不错，这次合成光刻胶，属于对方首次开展化学实验。

    可以说在看到样品验证结果时，他脑海中甚至猛地浮现出挖墙脚的念头，等徐铭正式入选院士时，把人从物理数学部给弄到化学部来。

    进行详细分析时，突然又回想起，自己了解到的徐铭在燕大时的事。

    难怪明明报考了数学专业，却先后被信院，以及物院方面的教授院士争抢。

    连在箐华的杨老都参与其中。

    以至于后边，不得不几个学院共同培养。

    该说不说，这种恐怖的学习理解能力，确实非常让人眼馋。

    哪位老师不想有这样的学生。

    哪个科研人员不想有这样的同事。

    不过这个念头，他也只是在脑海里想想，真要兴师动众的去挖人，化学部的人全加一起，恐怕都扛不住物理数学那边的一众院士。

    所以快速想清楚这些后，他才代表化学界，请求徐铭不要放弃对化学的研究。

    否则真会成为学界的重大损失。

    且毫不夸张的讲，影响到人类文明的发展都有可能。

    徐铭看著这么大反应的周启深，很快回过神来，嘴唇微动给出回答。

    「如果有机会的话，我很乐意继续研究化学。」

    虽未把话讲的太过满，但已然让周启深松了口气，脸上的表情重新被喜色占据。

    「放心吧。」

    「以后肯定不会缺机会，说不定到时候我们化学所还要请徐总师帮忙呢。」

    他很是认真的回应一句，接著扭头重新看向路川。

    再次把话题引到正事上面。

    「路川。」

    「把样品的验证结果，立刻汇报给科学院总院，另外和微电子装备那边对接。」

    「争取在最短时间内进行流片验证。」

    如今配制出的光刻胶样品，成功通过了结构图谱和物理验证测试，基本证明他们顺利合成出，这项由算法设计的最优光刻胶分子结构。

    违反了稳定性规则的全新化学材料。

    在这种情况下，肯定要尽快展开最终的流片验证。

    只要结果数据达到预期，那么便是彻底解决了国内高端光刻胶的弱项。

    实现百分百国产化，高端晶片制造产业闭环。

    让海外签署的限制文件，彻底沦为一张擦屁股都嫌硬的废纸。

    单想到届时会引起的行业轰动，和全球这么多国家之间的激烈讨论，整个人的心脏都仿佛要蹦出来。

    难以控制激动情绪。

    显得格外兴奋。

    路川本来还在暗自感叹，心想就徐教授的化学水平和研究的时间，恐怕就算讲出去都没人会相信，完全脱离了大众认知中的所谓天才。

    正自残形愧时，被老师的这句交代，瞬间惊醒。

    几乎是下意识答道：「是老师。」

    当话音在办公室内响起，刚才那份验证结果报告带来的振奋才又逐渐出现。

    不敢有任何的耽搁，忙跑著朝外面走去。

    迫不及待想分享这个好消息。

    当办公室内只剩下两个人，周启深依旧保持著脸上堆出的灿烂笑容，坐在沙发上主动同徐铭搭话。

    「这几个月的时间，我都像做梦一样，没想到那么快我们就合成出了光刻胶样品。」

    「现在就看流片的结果数据了。」

    「如果满足逐光极紫外光刻机和璇玑的要求，很快就能正式面向世界公布，我们从今以后成为具备自主制造高端晶片的半导体大国。」

    「最关键的是全球仅此一家。」

    徐铭安静听著，时不时应和上一句，很理解像周院这种老一辈科研人员的情感。

    大家等著这一天，已然很久了。

    况且事实也正是如此。

    当前海外有能力生产高端晶片的晶圆厂，其半导体设备和材料，全部来自世界各地的公司研发生产整合，这才构建出完整的技术生产线。

    承接各大网际网路等巨头公司的晶片订单。

    但等逐光极紫外光刻机问世，全部环节则都是由国内自研产品技术实现。

    单光刻成本这块，就足以彻底碾压海外方面，抢占全球晶片制造市场份额。

    到时候就要轮到海外主动服软谈判。

    攻守易型。

    「估计微电子装备那边，很快就会安排流片，我们耐心等著就是。」

    「另外。」  

    「光刻胶的量产方案还需进行适当优化。」

    徐铭这时接过周启深的话茬，总算不再沉默，针对当前仍存在的问题进行讨论。

    简单合成配制一份光刻胶样品，那自然简单。

    实验过程中可以做到无比精准的把控，确保数据曲线和计算预测的完全吻合，最大限度维持光刻胶的良品率。

    可若进行量产的话，就需采用更适合的方案，否则劣质品概率过高，就会直接影响产出量，以及导致光刻胶成本的价格飞速增长。

    在这个情况上，霓虹信越化学方面，就限制了每年高端光刻胶的出口量。

    周启深自然明白其中的重要性，加上之前就曾在会议上进行讨论，基本制定出了可行的量产流程，接下来要做的就是不断优化升级。

    「这事我会亲自抓的。」周启深郑重点头。

    随著两人的讨论，在样品验证成功的喜悦中结束，徐铭便没有在化学研究所内逗留。

    且接下来两天，都待在燕大数院，算是搁今年新生面前刷了下存在感。

    就是依旧没有安排课程讲座，让学生们颇感遗憾。

    视线转到微电子装备集团。

    贺鹏涛和丁顺安两位逐光项目核心负责人，听说了全新一代极紫外光刻胶，已研发出来且通过了初步验证。

    震惊过后简直比周启深还要激动高兴。

    可以说当天便下达指令，安排开展流片工作。

    没办法。

    他的逐光极紫外光刻机，几个月前就测试成功，却因光刻胶的问题，迟迟没法面向世界公布，为国产光刻机的技术水平正名。

    连庆祝都还是私下小范围进行的。

    现在光刻胶终于迎来好消息，这也同时代表著，距离公布的时间不会远。

    心里如何会不高兴。

    至于科学院院长余高远，得知这个消息时，第一反应是不相信。

    思索著是不是传递环节有误。

    毕竟上次讨论中，按照徐铭的说法，就算能依靠璇玑系统算法，来设计最优结构分子，都需要大半年时间。

    眼下才刚过去小几个月，竟被告知样品合成出来了。

    这效率提升的可不是一星半点。

    尤其高端光刻胶的难度，早已根深蒂固，是全球公认的行业重点技术。

    啥时候在国内变得那么简单，说合成就合成。

    然正当他准备打过去电话询问时，却又收到微电子装备同步过来的，开展实际流片验证测试的申请报告，顿时瞳孔骤缩心中涌现出惊喜。

    后面经过彻底确定，当即对化学研究所提出表扬。

    并参加这一次的流片验证。

    国庆假期。

    就在大众尽情享受假期时光时，魔都微电子装备集团同一个机房内，聚集了科学院众多院士和研究员，以及相关行业内的公司董事长。

    只因今天继首次全链路流片验证后，仅仅时隔几个月又再次进行流片验证。

    「老周。」

    「这次你们化学所干的不错，在这么短时间内，就合成出了全新一代光刻胶。」

    「可是给了我们一个不小的惊喜。」

    逐光极紫外光刻机所在的区域外面，余高远主动和周启深交流著，毫不掩饰脸上浮现出的欣喜笑容。

    能看出此刻心情相当不错。

    而与此同时，旁边的贺鹏涛和丁顺安两人，也没吝啬自己的称赞。

    纷纷跟在后面开口附和。

    「说实话我也挺意外的，本来以为还要等个半年，才有希望看到新一代极紫外光刻胶出来，没成想一下子给提前了这么长的时间。」

    「这对我们太重要了。」

    「只要此次流片验证成功，我们完全能赶在阿斯麦之前召开发布会，率先推出逐光极紫外光刻机。」丁顺安对贺鹏涛的话边点头边补充。

    贺鹏涛笑著道：「那阿斯麦肯定要傻眼不成。」

    「他们的半导体设备，始终位于世界行列，那种自信可都深入到了骨子里。」

    「恐怕从来都没有把我们的产品当做对手。」余高远在这种氛围下也忍不住接了句。

    不过作为话题主角的周启深，把几人的话悉数听进耳中后却有些不好意思。

    尤其注意到身旁面色镇定的徐铭后，身上的不自然不由得更加浓烈。

    别人或许不太清楚具体情况，但他心里明白，新一代极紫外光刻机，之所以能在如此短时间内，顺利研发成功并合成出样品。

    主要全靠徐铭的贡献。

    他又怎么好居功。

    于是连忙跟在话茬后面解释。

    「这次光刻胶能那么快研发出来，都是仰仗徐总师。」

    当声音传进贺鹏涛和丁顺安耳中，两人首先想到的便是璇玑系统算法。

    眼神中流露出几分惊讶。

    「依靠璇玑系统的算法设计分子结构，原来竟然有这么大的作用，直接把传统实验研发周期缩短那么多。」

    「看来对于璇玑系统，还有著很大开发空间。」  

    然他们的话音还未完全落下，便被周启深出声打断。

    针对详细的合成过程进行说明。

    「不单单是靠璇玑系统，徐总师在化学实验上的水平也非常厉害，合成过程中帮助我们解决了几个问题。」

    「否则想得到光刻胶样品，起码还要等段时间。

    说完。

    现场瞬间陷入一阵沉默。

    包括余高远在内，大家几乎同时瞪大眼睛，脸上的表情充满了疑惑和不解。

    就凭徐铭创造出来的传奇经历，哪怕小学里面的孩子都能讲出来，更不要说他们这些院士专家。

    谁不知道徐铭主要研究领域，仅限于物理数学以及信息算法几个学科，纵使是多少年不出的天才，同时投入时间和精力也可以说到达极限了。

    根本不可能再去研究化学。

    因此听到周启深，如此称赞徐铭的化学水平，脑海中不由得浮现一个问号。

    心想以徐铭的名气和权威，也没必要采用这样的方式去称赞。

    稍微顿了几秒，余高远干咳一声，摆摆手说道。

    「行了老周。」

    「徐总师对项目的贡献是大家有目共睹的，这份功劳任何人都无法抹除。」

    「至于你嘛也不用这么谦虚。」

    周启深听到这番话，心里那叫一个无语，敢情说实话都没有人相信。

    为此他只得又专门强调一句。

    「我说的都是真的，根据我的判断，徐总师以后的化学成就不见得比数学差。」

    讲这话时神情格外认真。

    而闻言大家也都回味过来，看周启深的样子，似乎真不是在开玩笑。

    但仍旧有些不太敢相信。

    成就不比数学差？

    要知道证明霍奇猜想，构建全新的理论工具，可以说无论哪一项都站在了数学的最高殿堂。

    让不知道让多少数学家望其项背。

    如果未来的化学成就也达到类似的程度，那该会是多惊人的程度。

    确实无法和现在的徐铭联系在一起。

    相比较在化学领域取得巨大成就，大家更愿意相信未来徐铭再次证明黎曼猜想。

    经过短暂的怔神后，贺鹏涛最先反应过来。

    将目光转到旁边徐铭身上后，主动开口询问抛出自己的问题。

    「老周讲的都是真的？」

    「我记得你之前不是说，没研究过化学吗？」

    他十分清楚的记得，当初徐铭提出，能在短时间内依靠璇玑系统解决新一代光刻胶时，便向其询问过是否对化学也有研究。

    所得到的回答是否定。

    怎么才短短几个月过去，就化身成化学专家了。

    「这具体怎么回事？」丁顺安同样疑惑。

    徐铭原本没打算参与话题，谁曾想聊到自己身上，面对周边大家的目光，他倒也没打算卖关子，未作迟疑便开口进行详细的回答。

    「我确实在光刻胶合成的时候，帮了些忙。」

    「至于对化学的研究，前两个月刚从化学研究所图书馆借阅了文献资料。」

    「刚研究的？」贺鹏涛脱口惊呼。

    他无论如何都没有想到，徐铭会给出这种答案。

    仅研究了一段时间的化学文献资料，就能攻克新一代极紫外光刻胶。

    变态程度根本无法形容。

    嘴唇微动几下，最后他还是把话咽了回去，整个人仿佛失去了所有力气。

    哪怕旁边的丁顺安等人，也完全一样。

    生怕继续聊下去，又会被徐铭的话暴击，影响到今天的欣喜情绪。

    最终还是余高远强行岔开话题。

    「那个————时间差不多了，赶紧开始验证吧。」

    有著上回的经验，这回进行流片验证，光刻过程只会更加顺利。

    伴随逐光极紫外光刻机启动，由璇玑系统生成的测试晶片版图，在涂抹了新一代光刻胶的晶圆片上曝光。

    超净间外。

    大家通过观察窗，看著晶圆片被送入逐光光刻机。

    神情越发的紧张和期待。

    哪怕无比相信，最终的结果不会让人失望。

    「这次流片的数量，是上回的数倍，所得到的各项数据也会更加精准。」

    待众人离开观察窗后，丁顺安主动向余高远报告。

    对今天进行的流片情况进行说明。

    闻言余高远只是点了点头，并未发表意见。

    毕竟一台新型号的极紫外光刻机，外加新开发的晶片设计软体和光刻胶，必须经过大量的流片验证，才能证明其产品技术的成熟性。

    以及良品率数值。

    虽然这会拉长验证的周期，却属于产品公开发布前的必备流程。

    而就在这个时候，人群中一位戴著眼镜的，中年模样男子出声询问，向丁顺安表明自己的疑惑。  

    「丁院士。」

    「咱们的国产高端晶片制造生产线，真的能达到海外最先进的工艺水准？」

    崔景和作为华芯国际董事长，其公司是国内最先进同时规模最大的，半导体晶片集成电路制造企业。

    但因为无法购买到，海外先进的光刻机和光刻胶。

    高端晶片市场份额在全球范围内落后。

    得知国产高端晶片制造产业技术，已经有了重大的突破进展之后，他的心情无疑是非常的激动高兴，无比期待逐光极紫外光刻机的问世。

    直到今天受邀参加流片验证，他才真正清楚当前国产技术处在什么阶段。

    竟具备了正式推向世界舞台的资格。

    这无疑是巨大的冲击。

    主要在大多数人的认知中，国内在高端晶片制造领域内想实现国产化，还是有一段长的路要走。

    结果他现在看到了什么？

    国产逐光极紫外光刻机早已研发成功，新一代光刻胶也和晶片设计软体也配套完善，就仿佛是瞒著外界偷偷在跑道上来了个百米冲刺。

    丁顺安闻言，自光当即朝崔景和望去。

    嘴角微微上扬挂著笑容。

    下秒语气无比坚定的答复道：「是的，你想的没错。」

    「根据初步的计划方案，明年我们的首批国产逐光极紫外光刻机，就会在华芯国际科技园安家落户。」

    「光刻工艺可以达到5纳米精度。」

    「并且我们有信心，逐光极紫外光刻机，性能会远远超过明年阿斯麦推出的新产品。」

    将丁顺安的话一字不落听进耳中，崔景和哪怕见惯了大场面，此刻也不由得呼吸变得有些急促起来，似乎已经看到公司跻身全球市场的那天。

    深吸一口气稍微平复后，当即信心十足的保证。

    「只要国产逐光极紫外光刻机就位，我们绝对会把失去的高端晶片制造市场份额拿回来。」

    丝毫不夸张的讲，现在他都想，先把这台极紫外光刻机搬回公司。

    而接下来的时间，他则又把视线，移动到徐铭身上。

    重新审视这位年轻人。

    带领国产高端晶片制造产业崛起的总设计师。

    就这样随著时间一分一秒流逝，无论微电子装备集团还是化学研究所，亦或者华天科技和华芯国际，大家心里面都在憋著一口心气。

    等待详细的流片结果出炉。

    但要说在这个过程中最轻松的，无疑是徐铭。

    他几乎参与了每个环节的技术研发工作，对具体情况可以说非常清楚。

    当极紫外光刻胶样品被合成出来的那刻，最终的结果就已经注定。

    高端晶片制造产业百分百国产化是必然的事情。

    为此趁著这些日子闲下来，他总算在燕大数院举行了几次讲座公开课。

    ——

    每场都是人山人海般的场景。

    除院里的研究生报名外，甚至还有讲师教授，都不愿意错过这种难得的机会。

    毕竟这实在是太难得。

    另外值得一提的是，他还抽空给蒋旭和朱志轩，以及陆明哲等人指导了博士毕业论文，如果顺利的话他们都会在明年五月份正式毕业。

    转眼来到月底。

    让大家心心念的流片验证结果，终于出来。

    上午。

    微电子装备报告厅。

    贺鹏涛郑重拿起流片报告，面对现场众人，直接公布最终的结果。

    「图形保真度完美，解析度和线边缘粗糙度，优于璇玑系统的预测数值。」

    「光刻胶对随机效应成功抑制。」

    「测试晶片中数以万计的环形振荡器，测得平均延迟时间与璇玑系统仿真数值误差小于1%。」

    「电晶体的关态电流密度领先国际水平。」

    「流片良品率达到99%，优于璇玑系统数字流片预测结果数值。」

    当一项项数据从贺鹏涛口中念出，宣布著逐光极紫外光刻机和璇玑系统，以及新一代极紫外光刻胶的成功。

    从海外限制高端晶片和先进半导体设备，到今天彻底实现产业国产化。

    如此短的时间内实现技术追赶，无疑是一项足以载入史册的行业奇迹。


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