第244章  流片数据出炉，光刻机主体成功

    宽敞明亮的机房内，首台逐光极紫外光刻机，被放置在中心位置，是全场毫无疑问的焦点。前方墙上的大屏幕处，最上面挂著个红色横幅。

    写有一行标语。

    「预祝全系统首次链路功能验证流片圆满成功」

    而现场除总设计徐铭，贺鹏涛与丁顺安两位院士，和微电子装备项目科研人员外，还包括华天科技公司，科技部领导以及多位院士专家。今天全部聚集在这里，只为共同见证国家高端晶片制造的崛起。

    其中很多人，都是项目某环节参与者。

    最终的结果如何，对他们来说，称得上是与有荣焉。

    心中都憋著一口气。

    但像科学院院长余高远，则完全把自己，放在观众的席位上，基本全程保持沉默，很少参与发言。

    把本次验证的主导权，悉数交给总设计师徐铭。

    仅在心中希冀验证圆满成功。

    当视线重新回到徐铭身上，他已经伸手接过，贺院递过来的逐光」最新检测数据，随即垂下目光神情认真的仔细查看。

    从海外新思公司，与阿斯麦半导体设备，共同发出公告，宣布将在明年正式推出，全新的极紫外光刻机和配套EDA算法工具，到现在已过去三个多月时间。

    然论他们如何都不会想到，在这短短三个多月内，首台逐光极紫外光刻机，已完成组装。

    将采用全新技术的核心光源系统，和工作件物镜系统等零部件整合。

    这几天在差不多二十四小时，不停地调试优化下，基本满足实际流片验证标准。

    在如此情况下，由国家晶片制造产业专项领导小组表决，定下今天开展首次全系统链路功能验证流片实验。

    「没问题。」徐铭重新把数据文件递还过去说。

    贺鹏涛接下笑著说：「大家等这一天可是很久了，眼下终于要变成现实。」他讲完不知是想到了什么，脸上显露出来的情绪，相比刚才多出几分伤感。

    早在十年前。

    国家发布中长期科学和技术发展规划纲要，把极大规模集成电路制造技术及成套工艺，排在16个国家重大科技专项首位，真正重视起晶片制造技术，并给予持续和巨额的经费支持。

    他便被任命为项目主要负责人，扎根光机所研发国产光刻机。

    尽管数年来取得一定成果，但距离海外阿斯麦公司，仍面临著巨大技术层面差距。

    当时行业主流观点是，未来二十年时间，很有可能都无法实现追赶。

    从某种程度上讲，比战斗机更加复杂棘手。

    对任何一位光机所人来说，看到国产光刻机崛起，实现自主高端晶片制造，是大家最真挚质朴的梦想。

    他贺鹏涛自然也不例外。

    而如今因为徐铭，这个尚不到三十岁的青年才俊，国家的极大规模集成制造技术，迎来飞速突破进展。

    以往的梦想得以实现，且亲眼目睹。

    情绪难免会有所宣泄。

    这是人之常情。

    「你就放心吧老贺，咱们的逐光肯定能经受检验。」丁顺安闻言，及时接过话茬，成功转移贺鹏涛的注意力。

    作为逐光系列光刻机的研发人员，就相当于是把孩子养大的父母。

    自家孩子究竟是个什么水准，基本是心知肚明。

    流片验证虽尚未开始，但最终结果如何，多少会有一个预期数值。

    徐铭依旧保持著冷静的思维，将贺鹏涛和丁顺安两位的交流，悉数听进耳中，虽想说些宽慰的话，给他们吃上一颗定心丸，但嘴唇微动下，还是把话给咽了回去。

    逐光极紫外光刻机，和璇玑系统EDA算法工具，他自然是胸有成竹信心满满。

    但要知道一件事，流片验证的数据，可不单靠这两项左右，其中任何一个环节都能产生影响。

    比如较为关键的光刻胶。

    原本他的打算，是想通过璇玑系统，反向设计适配的高端光刻胶，尽管这会延长流片验证的日子，却可以保证良品率。

    刚好科学院化学研究所，在国产光刻胶的研究上，取得了新突破。

    便索性提前进行流片验证。

    毕竟站在上面的角度，留给国内的时间确实不多，必须尽最大努力，和阿斯麦同步推出极紫外光刻机，把行业可能会受到的冲击损失，减低至最小范围。

    于是念头停留在这里，他方沉声吐出一句话。

    「开始工作吧，流片验证的数据如何，很快我们就能知道。」

    随著话音落下，身旁的贺鹏涛和丁顺安，也一改刚才脸上的笑容，神情变得严肃认真。

    点点头前往各自的工作区域，指挥科研人员调试。

    为流片验证做最后准备。

    伴随时间一分一秒流逝，机房现场的氛围，因逐渐弥漫的紧张感，变得有些窒息。

    连余高远等场外人员，都仿佛要屏住呼吸。

    生怕因为自己发出的动静，导致今天的流片验证出现问题。

    不知道过去多久，只听站在操作台前的潘耀，突然开口向徐铭进行汇报，总算暂时打破眼下的氛围。  

    「报告徐总师，设备已调试完毕，随时可以进行流片。」

    说完。

    负责优化璇玑系统的苏振豪，同样不再保持沉默，紧跟在潘耀的话后，也停下手上动作，转过身报告工作进度。

    「璇玑系统优化完成。」

    闻言徐铭猛地从椅子上站起身。

    目光先是依次在潘耀和苏振豪身上扫过，然后看向贺鹏涛和丁顺安，在短暂的眼神交流后，下秒便不再过多耽搁时间，立即下达了最重要的指令。

    「开始吧。」

    「是徐总设计师。」潘耀和苏振豪几乎同时回应。

    紧接著所有科研人员，再次投入到紧张的工作状态，神情保持著高度专注。

    此次流片验证采用的测试晶片，是一颗不包含复杂功能的专用测试晶片，其版图由璇玑系统软体生成。

    包括解析度测试图案，套刻精度标志，电性测试机构，和特殊监测图形等。

    不多时。

    在超净间外，徐铭和科研团队，通过观察窗，看著第一片矽片被送入珠光极紫外光刻机，整个气氛庄重而充满期待。

    当全系统链路功能验证流片流程开始启动，严格按照璇玑输出的工艺档和珠光的标准参数执行，而这个过程也需要一定的时间，需在晶圆片完成制造后，进行光学量测和电子显微镜检测。

    或许是看到氛围太过严肃，这个时候一直没发言的余高远，终于舍得主动开口。

    「真让人惊心动魄啊，不知道有多久，没经历过这种心情了。」

    说这句话时，故作轻松的语气，和脸上堆出的微笑，为大家的情绪增添一些不同的波动。

    「大家的压力确实不小。」贺鹏涛点点头附和句。

    前脚话音刚落，身旁科学院化学研究所的周启深院士，也接过话茬道：「国家有徐总师这样的天才，我相信逐光极紫外光刻机，肯定能光刻出良好的各层图案。」

    他比贺鹏涛和丁顺安小上几岁，在光酸剂与树脂等分子设计，以及合成与作用机理等研究领域，位于国内领先地位。

    对国家化学材料的发展，做出过重要贡献。

    此次整合国内资源，成立国家集成电路制造研发创新中心，他所在化学研究所，也被纳入整合范围。

    负责国产高端光刻胶的研发工作。

    其中值得一提的是，徐铭擅长数学物理甚至信息学科，凭借自身实力和天赋，带领光刻机和晶片设计软体，快速实现技术叠代。

    以至于经常能在网上看到，又有新的进展新闻。

    这对他们光刻胶项目组团队来讲，无疑有著巨大的压力。

    只能依靠自身。

    尽最大努力，保证国产高端光刻胶的研发，做到不拖其他项目部门的后腿。

    毕竟大家所在工作属于一个整体，任何人掉队都不行。

    幸好他们的运气还算不错，在首台逐光极紫外光刻机组装完前夕，成功合成一种效果更好的光刻胶。

    远超过当前国内的光刻胶水平。

    而正当他思维快速运转，脑海中一直想著流片结果时，耳旁突然响起徐铭的熟悉声音。

    「我们要看的，不是能不能做出图形，而是现实与预测的偏差，究竟有多少原子。」徐铭看向周启深院士，神情很是认真的接话，他对流片数据的要求，远比现场人要高。

    如果说其他人的目标，是晶片制造技术，追赶上阿斯麦设备的产品。

    那么他则是要超过。

    况且在付出这么多努力和心血后，想达成这一点，也并非是什么不可能做到的事。

    余高远对徐铭的了解，无疑要比现场任何人都深。

    他在听到这句话，当即应和道：「有你的这句话，我对流片结果可是更加期待了，看来又要给我惊喜。」

    众人之间的交流并未持续多久，很快就又被流片过程吸引。

    目睹百分之百国产化，正在运行的逐光极紫外光刻机，团队士气越发高昂。

    由于整个流片过程，包括光刻和刻蚀，以及沉积等数十道工序，且被严密监控，因此往往要历时数周时间才能结束。

    面对这种情况，大家毅然留在微电子装备。

    都想第一时间看到流片数据，也好见证国内晶片制造历时上，真正里程碑时刻。

    很快来到月底。

    高考结束分数陆续出炉，准大学生开始填写志愿，选择自己心仪的高校专业。

    如果这时候去参加，各地举行的招生活动，则会发现燕大所在展台位置，基本上一个学生和家长都没有，但偏偏被旁边的箐华等，学校招生老师羡慕的不行。

    没办法。

    正所谓树的影，人的名。

    在徐铭这张金字招牌下，燕大已然成为，全国最顶尖的高校。

    彻底把箐华甩在后面。

    甚至放眼国际，燕大也的地位排名，也在以肉眼可见的速度，每年持续上涨。

    特别是有著疯人院」美称的数院。

    有这些因素在，能够上燕大的学生，根本不会纠结犹豫。

    自然用不著参加这种活动。  

    放前几年的时候，徐铭偶尔还会帮忙为学校招生宣传，毕竟在他那一大堆头衔中，最开始的可是燕大数院教授。

    不过今年肯定是没有这个时间。

    6月27日，周二，微电子装备集团总部。

    今天光学测量实验室内，要比以往任何时候都要热闹，尤其人员上更是打破记录。

    因为在外面房间内，愣是聚集了大十几个身影。

    且有将近一半，都为院士。

    目前用于流片的晶圆片已完成制造，被送入了光学测量实验室，进行关键的光学测量和电子显微镜检测，这能够得到详细的流片数据，以及晶片良品率。

    众人眼下待在这里，正是想第一时间知道结果。

    明明面积不大的房间内，大家几乎紧挨著坐下，却愣是安静的很。

    纷纷保持著沉默。

    谁都没有率先开口打破僵局。

    显然心情都很紧张。

    直到房间门外突然响起一阵敲门声，瞬间让众人同时抬起视线望去，心脏仿佛都跳快了不少。

    平时一向稳重的院长余高远，更是首先脱口喊话。

    「进来。」

    穿著实验服的科研人员推门进来，手中拿著份崭新出炉的报告，脚步才刚迈进房间，便迫不及待开口汇报。

    「徐总师，各位院士领导。」

    「晶圆片的光学测量数据结果出来了————」

    「直接讲吧。」徐铭闻言立刻出声，把对方的话给打断。

    而这个时候，那位科员人员也没有耽搁，仅短暂顿了一秒，忙详细讲出报告中的数据。

    「根据测量结果显示，逐光解析度完全达标，光学成像能力优秀，各层图案对齐良好，另外光刻机的机械精度达到预期。」

    当徐铭以及贺鹏涛和丁顺安，等微电子装备科研人员，听完这番话后，原本悬著的心总算彻底放下，证明逐光国产极紫外光刻机主体研发成功。

    标志著国内终于拥有了，百分之百国产化的，高端极紫外光刻机。

    不过大家并没有在这个时候鼓掌庆祝，反倒是强压住心中激动，继续听后面的其他流片数据项目结果。

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